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晶瑞電材：已啟動ArF（193）高端光刻膠研發(fā)，KrF光刻膠完成中試
2021-12-31 08:19
12月15日，晶瑞電材在特定對象調(diào)研活動中表示，目前ArF(193)高端光刻膠研發(fā)工作已正式啟動，已完成光刻機、勻膠顯影機、掃描電鏡、臺階儀等設(shè)備購置，其中ASML1900Gi型光刻機設(shè)備正在積極調(diào)試中。同時公司正在積極開展對上游材料樹脂單體及配方的研究。
公司高端KrF(248)光刻膠已完成中試，建成了中試示范線，已進入客戶測試階段。近期已購得KrF光刻機一臺，可用于KrF光刻膠的曝光測試，同時公司KrF光刻膠量產(chǎn)化生產(chǎn)線正在積極建設(shè)中。
據(jù)晶瑞電材表示，此前，公司已經(jīng)購得用于負膠、g 線、i線、ArF 等 4 臺光刻機，再加之此次購得的KrF光刻機，公司已經(jīng)到位5臺光刻機。
來源：晶瑞電材官網(wǎng)
此外據(jù)晶瑞電材透露，晶瑞(湖北)微電子材料項目一期目前正在設(shè)備安裝調(diào)試階段。
據(jù)悉，2019年11月，晶瑞電材(原晶瑞股份)發(fā)布公告稱，擬在湖北省潛江市投資建設(shè)晶瑞(湖北)微電子材料項目，生產(chǎn)光刻膠及其相關(guān)配套的功能性材料、電子級雙氧水、電子級氨水等半導(dǎo)體及面板顯示用電子材料等，項目計劃總投資約為人民幣15.2億元。
晶瑞電材在該調(diào)研活動中還表示，受益于我國半導(dǎo)體材料行業(yè)國產(chǎn)替代進程提速，下游芯片廠商需求增長，當前公司主導(dǎo)產(chǎn)品半導(dǎo)體級光刻膠及配套材料、超凈高純試劑、鋰電池材料等產(chǎn)銷兩旺。
未來隨著公司 KrF 光刻膠測試完成并逐步量產(chǎn)、ArF 光刻膠研發(fā)成功并最終量產(chǎn)，以及公司南通、陜西、四川等基地新增的高純硫酸、NMP、光刻膠等產(chǎn)品產(chǎn)能的逐步釋放，有望成為公司新的利潤增長點。
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